國內(nèi)首發(fā)!南大光電半導(dǎo)體三甲基鋁(TMA)合成產(chǎn)品實現(xiàn)銷售
2022年5月10日,南大光電具有自主知識產(chǎn)權(quán)的TMA自制產(chǎn)品正式下線并圓滿完成首銷,一舉打破了我國在TMA合成方面的長期空白,為我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)原材料品質(zhì)的穩(wěn)定可控、供應(yīng)鏈的安全提供了切實保障,同時也為三甲基鋁的進一步應(yīng)用擴展打開了大門,成為南大光電科技報國的又一力證。
三甲基鋁(TMA)是自燃化合物,廣泛應(yīng)用于太陽能、LED、第三代半導(dǎo)體以及集成電路高K材料中,它還可以用來制備第三代半導(dǎo)體常用的甲基類化合物,比如三甲基鎵或三甲基銦,也是高端茂金屬聚乙烯催化劑助劑(甲基鋁氧烷)的必須材料。TMA由于對水氧極其敏感、純度要求極高、合成工藝路線復(fù)雜,因此我國一直處于依賴進口的劣勢。
南大光電TMA合成項目由公司首席科學(xué)家楊敏博士任主要負責(zé)人,南大光電半導(dǎo)體材料有限公司作為研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化落地載體,致力于打通TMA合成工藝路線,打破原料限制,實現(xiàn)對內(nèi)外部客戶的量產(chǎn)供應(yīng)。項目于2018年末啟動進行實驗室研發(fā);2019年上半年開始進行中試的設(shè)計、安裝、調(diào)試、試生產(chǎn);2020年中期,在中試取得階段性成果的基礎(chǔ)上,開始進行產(chǎn)業(yè)化的設(shè)計、安裝、調(diào)試、試生產(chǎn);2022年4月22日,產(chǎn)出高純度的合格產(chǎn)品。
一路走來,篳路藍縷。回首過去總是容易的,然而一路經(jīng)歷的酸痛苦辣只有身在其中才能體會:從文獻調(diào)研確定新路線的突破點,從手套箱里一步步小試的證實和穩(wěn)定,從一個個產(chǎn)品的分析及方法的確定,從小試轉(zhuǎn)中試的“堵點排查”,從每周上百次核磁的原因分析,從一次又一次的工藝調(diào)整,從一次次夜班的外賣和“可樂”,從“屢戰(zhàn)屢敗”到“屢敗屢戰(zhàn)”,從產(chǎn)線的清洗安裝檢漏到試產(chǎn)前的不眠,從“堵得懷疑人生”到“順得戰(zhàn)戰(zhàn)兢兢”的情緒起伏,從等待產(chǎn)品分析結(jié)果前夜打摜蛋把對手當(dāng)成隊友的緊張到半夜分享好消息的快樂......
忘不了茅總的不懈鞭策,忘不了吉工的悉心指導(dǎo),忘不了陸廠的悉心把關(guān),忘不了安全、分析品管及各部門的有求必應(yīng)、迅猛出動,忘不了各供應(yīng)商的同心協(xié)作,忘不了項目組成員拖著疲憊身軀前行的堅定以及成功后臉上洋溢著的喜悅!
南大光電創(chuàng)始人孫祥禎教授一直致力于高純電子材料的國產(chǎn)化,他創(chuàng)立的南大光電打破了國際封鎖,開創(chuàng)了我國自主MO源材料,促進了我國LED、第三代半導(dǎo)體的迅猛發(fā)展,孫老師心里還裝著一個個的其他關(guān)鍵材料,三甲基鋁的自產(chǎn)可以將一個材料從清單中劃出,后面還將有更多的材料跟進。